E-EC-ABL-X سيريز لڪير موٽر پليٽ فارم ايئر بيئرنگ گائيڊ ريل جو طريقو اختيار ڪري ٿو لوهه جي بنيادي لڪير موٽر سان گڏ، جنهن جي سڌي ۽ چٽي آهي روايتي ميخانياتي گائيڊ ريل کان بي مثال، ۽ خاص طور تي ننڍن قدمن جي فاصلي يا الٽرا-ڪور لاءِ موزون آهي. درست پوزيشننگ ايپليڪيشن منظرنامو.اهو سڌائي آپٽيڪل ڊيبگنگ، تنصيب ۽ پروسيسنگ لاءِ هڪ بهترين ايپليڪيشن پسند آهي.
● ايئر بيئرنگ لڪير ھدايت تمام سٺي flatness ۽ straightness ڪئي
● لوهه جو بنيادي لڪير موٽر ڪافي سسٽم جي سختي ۽ متحرڪ ڪارڪردگي کي يقيني بڻائي ٿو
● انتهائي گهٽ شور سان خاموش ۽ مستحڪم آپريشن
● اهو هڪ تمام اعلي سطحي سڌائي ڪارڪردگي آهي
● اسڪيننگ ايپليڪيشنن يا اعلي-سڌائي واري پوزيشن لاءِ مثالي
● Cleanroom مطابقت
● موشن پليٽ فارم جي سائيز 210 mm × 100 mm
● سفر جي حد 200 ملي ميٽر کان 500 ملي ميٽر تائين
● قرارداد 100nm يا 1 nm تائين